Specifiche principali: 1. Tensione di accelerazione: 1-15kV, regolabile in continuo. 2. Tipo di cannone elettronico: cannone a emissione di campo schotty (FEG), lente a due stadi altamente integrata, non è necessario regolare manualmente il diaframma della lente dell'obiettivo. 3. Ingrandimento ≥1000000X; 4. Risoluzione:≤2.5nm@15KV 5. Rilevatore: rilevatore di elettroni secondari (SE), rilevatore a retrodiffusione quadruplo (BSE), 6. Stadio: stadio motorizzato a 2 assi XY, movimento 60x55mm; 7. Dimensione massima del campione: 100*78*68.5mm mentre gli assi XY si muovono liberamente 8. Cambio campione e tempo di pompaggio ad alto vuoto≤ 180s. 9. Sistema ad alto vuoto: pompa meccanica, pompa turbomolecolare, pompa ionica x2, il vuoto nella camera del campione ≥4x10-2Pa, controllo completamente automatico; 10. Modalità video ≥512x512 pixel, non è necessario eseguire la scansione di piccole finestre. 11. Modalità di scansione rapida: tempo di imaging≤3s, 512x512 pixel. 12. Modalità di scansione lenta: tempo di imaging≤40s, 2048x2048 pixel. 13. File immagine: BMP, TIFF, JPEG, PNG. 14. Regolazione automatica con un tasto di luminosità e contrasto, autofocus, cucitura di immagini di grandi dimensioni 15. Funzione di navigazione: navigazione con telecamera ottica e telecamera di cabina. 16. Funzione di misurazione dell'immagine: distanza, angolo, ecc. 17. Include computer e software, controllo con mouse. 18. Opzionale: --Filamento di tungsteno (20 pezzi/scatola) --EDS --Stadio motorizzato a 3 assi XYZ --Stadio motorizzato a 3 assi XYT --Stadio motorizzato a 5 assi XYZRT --Basso vuoto (1-60Pa) --Stadio In-Situ dalla fabbrica originale, riscaldamento, raffreddamento, allungamento, ecc. --Modalità di decelerazione, 1-10KV, può osservare campioni non conduttori o a scarsa conduttività senza spruzzatura d'oro, solo per la modalità BSE --Piattaforma antivibrante (consigliata per A63.7005) 19. Dimensioni del microscopio 650*370*642mm, dimensioni della pompa meccanica 340*160*140mm |
Modello | A63.7001 | A63.7002 | A63.7003 | A63.7004 | A63.7005 |
Risoluzione | 10nm@15KV | 6nm@18KV | 4nm@20KV | 3nm@20KV | 2.5nm@15KV |
Ingrandimento | 150000x | 200000x | 360000x | 360000x | 1000000x |
Cannone elettronico | Tungsteno | Tungsteno | Tungsteno | LaB6 | Schotty FEG |
Tensione | 5/10/15KV | 3-18KV | 3-20KV | 3-20KV | 1-15KV |
Rilevatore | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE | BSE+SE |
CCD di navigazione | CCD | CCD | CCD+Telecamera di cabina | CCD+Telecamera di cabina | CCD+Telecamera di cabina |
Tempo di vuoto | 90s | 90s | 30s | 90s | 180s |
Sistema di vuoto | Pompa meccanica Pompa molecolare |
Pompa meccanica Pompa molecolare |
Pompa meccanica Pompa molecolare |
Pompa meccanica Pompa molecolare Pompa ionica |
Pompa meccanica Pompa molecolare Pompa ionica x2 |
Vuoto | Alto vuoto 1x10-1Pa |
Alto vuoto 1x10-1Pa |
Alto vuoto 1x10-1Pa |
Alto vuoto 5x10-4Pa |
Alto vuoto 5x10-4Pa |
Stadio | Stadio XY, 40x30/40x40mm |
Stadio XY, 40x30/40x40mm |
Stadio XY, 60x55mm |
Stadio XY, 60x55mm |
Stadio XY, 60x55mm |
Precisione dello stadio | - | Posizione precisa 5um | |||
Distanza di lavoro | 5-35mm | 5-35mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm | 5-73.4mm |
Campione massimo | 80x42x40mm | 80x42x40mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm | 100x78x68.5mm |
Opzionale | Filamento di tungsteno 20 pezzi/scatola | Filamento Lab6 | Lampada a emissione di campo | ||
EDS Oxford AZtecOne con XploreCompact 30 | |||||
- | Basso vuoto 1-100Pa | Basso vuoto 1-30Pa | |||
- | Modulo asse Z | Stadio a 3 assi, X 60mm, Y 50mm, Z 25mm | |||
- | Modulo asse T | Stadio a 3 assi, X 60mm, Y 50mm, T ±20° | |||
- | - | Stadio a 5 assi, X 90mm, Y 50mm, Z 25mm, T ±20°, R 360° | |||
- | - | Piattaforma antivibrante, per stadio a 3 assi, 5 assi | |||
- | Modalità di decelerazione 1-10KV per osservare campioni non conduttori, solo per BSE | ||||
- | Stadio In-Situ dalla fabbrica originale, riscaldamento, raffreddamento, allungamento, ecc. | ||||
UPS |
▶ AZtecOne con XploreCompact 30 per TTM
Analisi EDS convenzionale del sistema Il sistema fornisce analisi qualitative e quantitative di diversi materiali, analizzando elementi che vanno da B(5) a cf (98). Oltre alle scansioni puntuali individuali della superficie del campione, sono disponibili potenti scansioni lineari e scansioni spettrali elementari. In combinazione con un rilevatore personalizzato, l'analisi e il reporting possono essere eseguiti in pochi secondi. |
Area cristallina effettiva | 30mm2 | Risoluzione (di una foto) | Mn Ka <129eV @50.000cps |
Intervallo di rilevamento elementare | B (5) a cf (98) | Frequenza di conteggio massima in ingresso | >1.000.000 cps |